气相沉积反应器是多晶硅生产的核心设备，也是决定系统产能、能耗的关键环节。因此气相沉积反应器的设计、制造和维护，直接影响到产品的质量、产量和生产成本。同时气相沉积反应器是典型的过程设备，其外壳为压力容器，是八大特种设备之一。为防止和减少事故，保障人民群众生命和财产安全，促进经济发展，中国对特种设备实施全过程安全监察。因此气相沉积反应器的生产（含设计、制造、安装、改造、维修）、使用、检验检测及其监督检查等环节，需要服从《中华人民共和国特种设备安全法》的安全监督管理，满足一系列行政法规、部门规章、安全技术规范、引用标准的要求。本实验为气相沉积反应器“设计-制造-检验-运维”全寿命周期虚拟仿真实验，实验过程分四个环节：热工艺设计、结构设计、制造检验、运行维护；涉及三个场景：反应器使用单位、设计单位、制造单位。通过该实验课程学习，实现产能3000~7500kg/炉，能耗≤120度/kg-Si的气相沉积反应器设计、制造、检验。