图示为气相沉积反应器,为维持安全和保证生产,反应器内温度需要控制在1000-1050℃范围内,设备内由电加热系统供热,为防止温度过高夹套内有冷却水。试分析该系统的被控制对象、被控变量、操纵变量及可能的干扰作用?
正确答案:
系统内有两个回路:
回路1:
被控对象1:反应器内腔;
被控变量1:反应器内腔温度;
操纵变量1:加热电压
可能干扰作用1:电网的电压波动、冷却水流量和温度的波动
回路2:
被控对象2:反应器夹套;
被控变量2:冷却水温度;
操纵变量2:冷却水流量
可能干扰作用2:内腔温度的波动、冷却水温度的波动